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FTA 품목분류 HS 품목분류표상 “반도체 칩의 기술진화(MEMS)”

사례 2

기준년도 2015

참조번호 DE23131/13-1

시행일자 2015-07-07

결정세번 9031803890 ※ HS 2022 기준, 제8541.51호

Unfinished and incomplete electronic gyroscopes on a wafer, essentially consisting of a chip
with a so-called. MEMS (Micro Electro Mechanical System) in the form of round-wavers
of silicon (diameter about 2 mm, thickness of about 10 -12 microns) of two intermeshing
comb-like elements at the ends of which a current is applied.

An element is in the center of the measurement axis of the few silicon webs movable
suspended (rotational vibrator). It is electrically vibrated. The MEMS serve as measuring
sensors. You convert a physical quantity (angular rate) around in a distinct electrical signal.
This signal is amplified, modulated and evaluated by a further module (not part of this BTI). In
manufacturing steps such.

As dicing, bonding, potting and embedding the chip into a housing and the test and calibrate
물품설명
the sensors are further processed. The goods will be as “electronic apparatus for measuring
or checking, in Chapter 90 not elsewhere specified or included, else than by subheadings
(HS) 9031 1000 9031 8038 60 recognized until 00” queued.

“미완성 불완전한 자이로스코프로, 전류가 적용되는 2개의 서로 맞물리는 빗살 모양 구성요소의
실리콘(직경 약 2mm, 두께 약 10~12 미크론)의 둥근 웨이퍼 형상이다.

움직이는 몇 개의 회전축(회전 진동기)에서 MEMS는 센서 역할을 한다. 회전축에 의해 전기적으로
진동하며 물리량(각속도)을 감지하여 전기신호로 변환한다.

다이싱과 본딩, 하우징에 내장한 후 센서를 테스트하는 추가공정이 필요하다. 제90류의 측정 또는
검사기기로 분류된다.

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 2 a) / AV 6 / ZAnm 1 Kap 90Erl uterungen: ErlKN Pos 9031
분류사유
(EE) RZ 81.0

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