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FTA TRADE REPORT Vol. 03 September 2022

그 외에도 공기의 진동을 통해서 전달되는 파동 “MEMS 마이크로폰”도 대표적인 트랜스듀서

(음파)을 인식하여 전기적인 신호로 변환하는 (센서)이다.

반도체 기반의 변환기, MEMS 센서

MEMS 마이크로폰 MEMS 가스센서 MEMS 자이로센서
소리(진동)➡전기신호 화학반응➡전기신호 위치변화➡전기신호

두 번째, 반도체 기반 변환기인 MEMS 액추 발열체 등이 실리콘 기판 위에 집적되어 있다.
에이터인데, 대표적으로 1980년대 초 HP사가 발열체가 잉크방에 있는 잉크를 끓게 만들면

최초 개발한 잉크젯 프린터 헤드에 사용되는 (300도) 잉크에 기포가 생기고 그 기포가 잉크를
액추에이터를 들 수 있다. 사람 머리카락 굵기 노즐밖으로 밀어내어 분사되는 원리로 작동

절반도 안되는 미세한 노즐 구멍에, 잉크방과 한다.

잉크젯 프린터 헤드 부분에 사용되는 MEMS 액추에이터

뉴젠테크 시스템
newgentech.net

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