Page 102 - FTA무역리포트

FTA 품목분류 HS 품목분류표상 “반도체 칩의 기술진화(MEMS)”

그뿐만 아니다. 전기를 가하면 팽창 및 수축 Display)나 투사형의 차량용 HUD(Head Up

하는 성질을 가진 아주 미세한 크기의 거울 Display) 등에 사용 된다.
여러개를 빛에 반사시켜 영상을 만들어 내는

MEMS 마이크로 미러(mirror)도 빛(光)을 그 외에도 렌즈나 회절 격자를 MEMS 기술로
이용한 액추에이터이다. 주로 프로젝터나 구현하여 빛을 굴절회절하는 DLP나 GLV

HDTV나 고글형의 HMD(Head Mounted (Grating Light Valve) 등의 형태도 있다.

MEMS 엑추에이터

* 16mmⅹ17mm크기의 마이크로 미러를 전기 신호로 움직여 빛을 반사시키는 반도체
* 작은 거울이 빛을 반사, 프로젝션하여 벽에 영상을 만들어 내는 것

MEMS
Scanning Mirror

RGB Lasers
Laser
Diode Driver

Laser scanned-MEMS projection system for
automotive head-up display

세 번째, 반도체 기반 변환기인 “MEMS 공진기 acoustic wave resonator)인 “FBAR”가

(resonator)”는 공진(共振) 현상을 이용하여 대표적이다. 주로 장치의 다중화(mutiplexing)나

원하는 특정 주파수(필터링)나 특정 진동을 채널 선택용의 RF(Radio Frequency :
만들어 내는 필름 체적 탄성파 공진기(film bar 무선주파수) 통신기술 등에 사용된다.

102